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Cyberoptics Corporation是一家全球性的三維(3D)傳感器和檢測和計量系統產品的開發商和製造商。該公司開發和製造WaferSense產品,這是一個無線、晶圓形傳感器家族,提供半導體製造過程中的關鍵因素的測量。該公司產品包括SQ3000多功能係統、MX3000自動光學檢測(AOI)系統、WX3000計量系統、微米像素3D納米分辨率MRS傳感器和檢測系統。Q3000多功能係統允許在在線生產速度下檢測和計量特徵尺寸至50微米。MX3000AOI系統用於內存模塊的3D檢測,遵循製造過程的模擬步驟。微米像素的三維納米分辨率MRS傳感器,能夠在高速下精確測量25微米以下的特徵尺寸。WX3000計量和檢測系統用於晶圓片和先進的封裝應用。
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