智通財經APP獲悉，據供應鏈消息人士的透露，臺積電(TSM.US)已向阿斯麥(ASML.US)下達2021年至少13臺的EUV(極紫外)光刻機訂單。
在先進製程競賽中，臺積電5nm已如期在2020年第2季度登場，且明確揭露未來製程推進規劃，包括2021年再推出5nm加強版，隸屬於5nm家族的4nm工藝預計2021年第4季試產，2022年量產。
另外，3nm工藝也維持先前預期，2021年進風險試產，2022年下半量產，而2nm的竹科研發中心、生產基地早已開始動工，傳出已取得蘋果(AAPL.US)新單協議，同時也開始1nm製程的規劃。
據估算，至2020年底，臺積電EUV設備採購量累積達30多臺，光是5/3nm節點的南科廠目前就達20臺，比三星、英特爾(INTC.US)現有EUV光刻機還要多，預估至2021年底總計將逾50臺，三星晶圓代工屆時約30臺。
據瞭解，阿斯麥新接到的極紫外光刻機，單臺的訂單價格在1.5億歐元左右，臺積電在2021年預訂至少13臺，意味着將花費約19.5億歐元。