智通財經APP訊，華海清科(688120.SH)發佈公告，近日，公司和清華大學共同完成的“集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲2023年度國家技術發明獎一等獎，公司董事長、首席科學家路新春先生作爲項目第一完成人獲得2023年度國家技術發明獎一等獎證書。
化學機械拋光(CMP)是先進集成電路製造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵製程工藝，公司以清華大學科技成果轉化的CMP技術成果爲基礎，進行CMP裝備產業化應用的核心技術研發，率先推出國內首臺擁有自主知識產權12英寸CMP裝備，實現了國內市場CMP裝備領域的國產替代。公司持續加大自主研發力度，推出多款CMP商業化機型，並依託穩定的性能和良好的售後服務優勢，批量進入行業知名芯片製造企業，國內市場佔有率達到較高水平。
國家技術發明獎是我國在科學技術領域的最高獎項之一。本次獲獎，即是對公司核心研發團隊在CMP領域技術創新成果的充分肯定，也是對公司長期推動CMP裝備國產化的高度褒獎。