智通財經APP獲悉，國海證券發佈研究報告稱，半導體行業需求回暖疊加中國大陸晶圓廠持續擴產，國內半導體設備市場長期有望穩健增長。質量控制貫穿晶圓製造全過程，是芯片生產良率的關鍵保障，先進製程將對工藝控制水平提出更高要求，量檢測設備價值量有望倍增。測算2023/2024/2025/2026年全球半導體量檢測設備市場空間分別爲105/120/138/145億美元，CAGR達11.5%，中國大陸半導體量檢測設備市場空間分別爲35/41/48/51億美元，CAGR達12.8%。
▍國海證券主要觀點如下：
半導體量檢測設備市場空間廣闊
半導體行業需求回暖疊加中國大陸晶圓廠持續擴產，國內半導體設備市場長期有望穩健增長。質量控制貫穿晶圓製造全過程，是芯片生產良率的關鍵保障，先進製程將對工藝控制水平提出更高要求，量檢測設備價值量有望倍增。測算2023/2024/2025/2026年全球半導體量檢測設備市場空間分別爲105/120/138/145億美元，CAGR達11.5%，中國大陸半導體量檢測設備市場空間分別爲35/41/48/51億美元，CAGR達12.8%。
多系統組合有望成爲檢測技術方向
測算2022年全球光學/電子束/X光檢測設備市場份額分別爲74.2%/19.7%/2.2%，光學檢測速度快、無接觸，然而先進節點檢測靈敏度有限;電子束檢測精度較高，然而速率較慢、設備成本較高;隨着芯片材料和結構複雜性持續提升，多系統組合有望成爲檢測技術方向。
近年量檢測設備國產替代正在加速
據VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半導體量檢測設備行業CR5達82%，KLA歷經多次併購，產品種類齊全，2020年KLA量檢測設備全球市佔率達51%;ASML將量檢測設備與EUV系統配套，電子束檢測設備競爭優勢顯著，據theinformationnetwork，2022年ASLM電子束檢測設備全球市佔率達50%。
目前量檢測設備國產化率較低，本土主要供應商包括上海精測、中科飛測和睿勵儀器，2018-2022年三家公司國內市場份額合計0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地緣因素影響下，量檢測設備國產替代正在加速。
關注本土設備商新品突破及訂單進展
半導體量檢測設備空間廣闊，國產替代正在加速，建議關注精測電子(300567.SZ)、中科飛測(688361.SH)、中微公司(688012.SH)、賽騰股份(603283.SH)、天準科技(688003.SH)。
1)精測電子：立足面板檢測主業，半導體產品持續完善，明場檢測設備進展領先;2)中科飛測：聚焦量檢測設備近十年，納米圖形晶圓缺陷檢測、關鍵尺寸量測等設備加速研發;3)中微公司：多次增資睿勵儀器，量檢測收入持續增長;4)賽騰股份：收購日本Optima，佈局晶圓檢測設備;5)天準科技：加速佈局半導體領域，首臺明場檢測設備已交付客戶試用。首次覆蓋，給予半導體前道量檢測設備行業“推薦”評級。
風險提示：
半導體行業景氣度復甦不及預期;半導體設備國產替代不及預期;行業競爭加劇風險;市場空間測算偏差風險;重點關注公司業績不及預期;研究報告使用的公開資料可能存在信息滯後或更新不及時的風險等。