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Axcelis Technologies Inc設計、製造和服務離子注入及其他用於半導體芯片製造的加工設備。該公司提供完整系列的高能、高電流和中電流注入機,可滿足所有應用要求。除設備外,公司還提供廣泛的售後生命週期產品和服務,包括二手工具、備件、設備升級、維護服務和客戶培訓。其Purion旗艦系統均基於一個通用平台,可實現種植體純度、精度和生產率的結合。Purion產品將單個晶圓端站與先進的點光束架構(確保晶圓上的所有點都以相同的光束角度看到相同的光束條件)相結合,使過程控制能夠以高生產率優化設備性能和產量。該公司向世界各地的半導體芯片製造商銷售其產品。
名稱 | 年齡 | 成立於 | 主旨 |
---|---|---|---|
Mary G. Puma | 65 | 2000 | Executive Chairperson |
Joseph P. Keithley | 74 | 2011 | Independent Director |
Jorge Luis Titinger | 62 | 2019 | Lead Independent Director |
Russell J. Low | 52 | 2016 | CEO, President & Director |
Thomas St. Dennis | 69 | 2015 | Independent Director |
John T. Kurtzweil | 67 | 2015 | Independent Director |
Tzu-Yin Chiu | 67 | 2018 | Independent Director |
Jeanne Quirk | 53 | 2022 | Independent Director |
Dipti Vachani | 49 | 2022 | Independent Director |
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